레이저 직접 묘화 맞춤형 포토마스크

접촉 노광, 근접 리소그래피 및 정밀 패턴 전사용 유리·용융 실리카 맞춤형 크롬 패턴.

마스크 재료 및 노광 방법

이 명칭들은 서로 조합할 수 있는 선택 항목입니다. 예를 들어 용융 실리카 마스크를 접촉 노광에 사용하면서 대면적 마스크 세트의 한 레이어로 공급받을 수 있습니다.

목적 또는 선택 항목	제품 선택지	선택 시 고려 사항
기판	유리 / 용융 실리카EN	파장과 열 특성에 따라 선택합니다. 재료만으로 접촉식 또는 근접식 사용 방식이 정해지는 것은 아닙니다.
노광 방식	접촉 / 근접EN	접촉식은 간격을 줄이고, 근접식은 직접 접촉을 피하지만 회절 영향을 고려해야 합니다. 노광 장비와 가공물에 맞춰 선택합니다.
노광 범위	단일 필드 / 대면적 / 반복 배열EN	유효 노광 영역과 기판 외형은 별개입니다. 반복 셀은 하나의 좌표계를 공유할 수 있습니다.
레이어 간 관계	단일 마스크 / 정합 마스크 세트EN	순차 노광은 공통 정렬 마크가 있는 별도 마스크를 사용합니다. 마스크 세트는 한 기판에 형성된 다층 코팅이 아닙니다.

TL OPTIK은 패턴 데이터, 기판 선택 및 크롬 패터닝을 연결합니다. 접촉 또는 근접 노광 환경에 맞춰 패턴 극성, 핵심 치수 및 정렬 마크를 검토합니다. 패턴 데이터와 마스크 규격을 공유해 제조 가능한 사양과 검사 계획을 협의하세요.

포토마스크는 투명 및 차광 영역으로 도안을 구현하여 광학 노광과 패턴 전사에 사용됩니다.

제품 상세 및 기술 문서는 현재 영어로 제공됩니다. EN 표시 링크는 영어 페이지로 연결됩니다.