실제 소재 지정
기술적인 지적으로 합성에 의하여 융합된 실리카를 사용하십시오. 넓은 “quartz” 상표는 과정에 의해 요구되는 급료 또는 광학적인 행동을 식별하지 않습니다.
크롬 용융 실리카 포토마스크
지정 UV 투과율과 낮은 열팽창이 필요한 용도의 UV 대응 용융 실리카 크롬 포토마스크.
까다로운 노광 조건용 안정성이 높은 유리
용융 실리카 기판 위에 크롬 패턴을 형성한 완성 노광용 포토마스크입니다. 구매 시 사용하는 ‘석영 포토마스크’라는 명칭만으로 판단하지 말고, 구체적인 기판 등급, 두께, 사용 노광 파장에서의 투과율 요구 사항을 지정하세요.
용융 실리카는 기판 재료를 뜻하며 접촉식 또는 근접식은 완성 마스크의 사용 방식을 뜻합니다.
- 공급 상태
- 완성된 패턴 마스크
- 기판
- 합성 융합 실리카
- UV 성능
- 등급, 두께 및 파장에 따라 다름
- 주문 기준
- 승인 도면 및 자재 검토
노광 조건에 따라 기판 선택
작업을 시작하면 구성 요소가 수행되어야하며 결과가 반복 할 수 있도록 재료와 기하학을 확인합니다.
사용 파장 명시
자외선 투과율은 재료 등급, 두께 및 파장에 따라 달라집니다. 이 페이지는 모든 용융 실리카 마스크에 대해 동일한 파장 성능을 보증하지 않습니다.
재료 특성과 오버레이 정확도를 구분
낮은 열팽창은 치수 안정성에 도움이 되지만 최종 전사 형상 크기와 오버레이는 노광 장비, 가공물 및 공정에도 영향을 받습니다.
엔지니어링 뷰
이 구성은 어떻게 작동합니까?
노광 스펙트럼, 온도 변화 또는 긴 좌표 간 거리로 인해 기판의 투과율과 열팽창이 중요하다면 용융 실리카를 선택하세요.
광학 유리일반 광학 경로
합성 융합 실리카UV와 열 필요조건
기술 명세
노광 스펙트럼, 온도 변화 또는 긴 좌표 간 거리로 인해 기판의 투과율과 열팽창이 중요하다면 용융 실리카를 선택하세요.
| 속성 | 제품 사양 |
|---|---|
| 속성제품 유형 | 제품 사양완성된 용융 실리카 크롬 포토마스크 |
| 속성기판 | 제품 사양사용 파장에 맞춰 선정한 합성 용융 실리카 |
| 속성UV 투과율 | 제품 사양재료 등급, 두께 및 파장에 따름 |
| 속성평면도 | 제품 사양승인 도면 및 노광 구성에 따름 |
| 속성코팅 | 제품 사양패턴 크롬 (Cr) |
| 속성패턴 극성 | 제품 사양승인 된 작품에 의해 정의 된 Clear 및 opaque 영역 |
| 속성최소한도 선 폭 | 제품 사양승인 된 도면 및 제조 검토에 따르면 |
| 속성최소 라인 간격 | 제품 사양승인 된 도면 및 제조 검토에 따르면 |
| 속성핵심 치수 공차 | 제품 사양승인된 그림, 검사 지역 및 측정 방법에 따르면 |
| 속성광학 밀도 | 제품 사양작동 파장에 지정 |
| 속성검사 | 제품 사양핵심 치수, 위치, 극성, 방향 및 합의된 결함 허용 한도. |
응용 및 선정
노광 스펙트럼, 온도 변화 또는 긴 좌표 간 거리로 인해 기판의 투과율과 열팽창이 중요하다면 용융 실리카를 선택하세요.
- 컨택트 및 근접 리소그래피
- 반도체, 디스플레이 및 회로 패턴
- 광학 기기 및 맞춤형 microfabrication
- UV 포토리소그래피
- MEMS 및 미세 구조 제작
- 정밀 광학 패턴 전송
공정에 맞춰 맞춤화
물자, 차원, 표면, 본, 코팅 및 문서는 표준 윤곽이 충분하지 않을 때 함께 검토될 수 있습니다.
아트워크 및 극성
합성 용융 실리카 등급, 치수 및 두께
노광 및 광학 조건
노광 파장 및 필요한 기판 투과율
정렬 및 인수 검사
삽화, 극성, 최소한도 선/공간 및 오리엔테이션
이 제품이 사용되는 곳
낮은 팽창성 기판에 완성된 마스크.
호환되는 노광 공정용 용융 실리카 크롬 패턴 마스크입니다.
자주 묻는 질문
재료 선택, 패턴 정의 및 합격에 영향을 미치는 질문에 대한 짧은 답변.
왜 soda-lime 유리 대신에 융합 실리카를 선택합니까?
용융 실리카는 일반적으로 열팽창이 작고 유용한 자외선 투과 특성을 갖습니다. 적합한 선택은 파장, 두께 및 치수 안정성 요구사항에 따라 달라집니다.
어떤 용융 실리카 등급을 지정해야 하나요?
재료 등급을 검토할 수 있도록 사용 파장, 기판 두께 및 필요한 투과율을 제공하세요.
치수 및 크롬 패턴을 맞춤형 할 수 있습니까?
네. 기판 형상, 패턴, 극성, 광학 농도 및 검사 요구사항을 승인 도면에 따라 정의할 수 있습니다.
완성 된 패턴으로 공급됩니까?
예. 이 페이지는 완성 된 패턴 마스크를 설명합니다. Unpatterned chrome-on-fusion-silica 블랭크은 별도로 나열됩니다.
합격 및 도면 입력
제품 유형과 핵심 모수가 선택된 후에 이 품목을 확인하십시오. 완성 된 구성 요소가 제조, 검사 및 문서화되는 방법을 정의합니다.
검사 및 합격
물자 ID, 기판 기하학, 긴요한 본 차원 및 clear/opaque 결점 기준을 검증하십시오.
그림 또는 조회에서 제공하는 것
- 합성 용융 실리카 등급, 치수 및 두께
- 노광 파장 및 필요한 기판 투과율
- 삽화, 극성, 최소한도 선/공간 및 오리엔테이션
- 크롬 코팅의 광학 성능 목표, 평탄도 및 검사 기준
제조 및 검사 검토를 위해 도면, 참고 도안 또는 초기 사양을 보내 주세요.
이 제품 상담이 제품의 기술 가이드
제조 역량
일부 제품 상세 및 기술 페이지는 영어로만 제공됩니다. EN 표시가 있는 링크는 영어 페이지로 연결됩니다.