완성 마스크와 무패턴 블랭크를 구분
이 제품은 최종 크롬 패턴을 형성하여 납품합니다. 크롬 코팅 블랭크에는 패턴이 없으며 이후 레지스트 도포, 노광 및 식각이 필요합니다.
크롬 유리 포토마스크
광학 노광 및 패턴 전사용 소다석회 또는 지정 유리의 맞춤 크롬 패턴.
패턴 전송은 마스크로 시작
크롬 온 글라스 포토마스크는 크롬으로 불투명 영역을 정의하고 투명 영역의 유리를 통해 빛을 통과시키는 패턴 노광판입니다. 승인 도안을 형성하며 노광 공정에 맞춰 패턴 극성, 관찰 방향 및 정렬 기준을 지정합니다.
패턴은 라인, 공간, 그리드, 조리개, 정렬 마크, 텍스트 및 도면 정의 맞춤형 레이아웃을 포함 할 수 있습니다.
- 공급 상태
- 완성된 패턴 마스크
- 기판 선정 방향
- 광학 유리
- 핵심 치수
- 도면 및 검사 계획
- 주문 기준
- 승인된 아트워크 리비전
생산 전에 완성 마스크 정의
작업을 시작하면 구성 요소가 수행되어야하며 결과가 반복 할 수 있도록 재료와 기하학을 확인합니다.
마크 명확하고 불투명한 영역
포지티브/네거티브 용어는 공정에 따라 다를 수 있습니다. 승인 도안에는 빛을 투과하는 영역과 크롬을 남기는 영역을 명확히 표시해야 합니다.
방향과 리비전 관리
패턴 데이터 확정 전에 패턴 면, 관찰 방향, 글자 판독 방향, 좌표 원점 및 도면 개정 번호를 확인합니다.
엔지니어링 뷰
이 구성은 어떻게 작동합니까?
지정 광학 유리가 노광 파장, 허용 열 조건 및 치수 안정성 요구사항을 충족할 때 이 범용 완성 마스크를 선택하세요.
- 패턴 크롬
- 불투명 영역
- 광학 유리 기판
- 투명 영역
기술 명세
지정 광학 유리가 노광 파장, 허용 열 조건 및 치수 안정성 요구사항을 충족할 때 이 범용 완성 마스크를 선택하세요.
| 속성 | 제품 사양 |
|---|---|
| 속성제품 유형 | 제품 사양완성되는 크롬에 유리 photomask |
| 속성기판 | 제품 사양Soda-lime 또는 다른 지정된 광학 유리 |
| 속성코팅 | 제품 사양패턴 크롬 (Cr) |
| 속성패턴 극성 | 제품 사양승인 된 작품에 의해 정의 된 Clear 및 opaque 영역 |
| 속성최소한도 선 폭 | 제품 사양승인 된 도면 및 제조 검토에 따르면 |
| 속성최소 라인 간격 | 제품 사양승인 된 도면 및 제조 검토에 따르면 |
| 속성핵심 치수 공차 | 제품 사양승인된 그림, 검사 지역 및 측정 방법에 따르면 |
| 속성광학 밀도 | 제품 사양작동 파장에 지정 |
| 속성검사 | 제품 사양핵심 치수, 위치, 극성, 방향 및 합의된 결함 허용 한도. |
| 속성노광 방식 | 제품 사양컨택트, 근접 또는 기타 지정 방법 |
응용 및 선정
지정 광학 유리가 노광 파장, 허용 열 조건 및 치수 안정성 요구사항을 충족할 때 이 범용 완성 마스크를 선택하세요.
- 컨택트 및 근접 리소그래피
- 반도체, 디스플레이 및 회로 패턴
- 광학 기기 및 맞춤형 microfabrication
- 맞춤형 포토리소그래피 패턴 전사
- MEMS 및 호환 microfabrication
- 광학적인 가늠구멍, 격자 및 참고 구조
공정에 맞춰 맞춤화
물자, 차원, 표면, 본, 코팅 및 문서는 표준 윤곽이 충분하지 않을 때 함께 검토될 수 있습니다.
아트워크 및 극성
유리 재질, 치수 및 두께
노광 및 광학 조건
투명/불투명 도안, 선폭, 간격 및 극성
정렬 및 인수 검사
패턴 면, 관찰 방향, 원점 및 정렬 마크
이 제품이 사용되는 곳
호환되는 노광 공정용 불투명/투명 도안.
자주 묻는 질문
재료 선택, 패턴 정의 및 합격에 영향을 미치는 질문에 대한 짧은 답변.
크롬에 유리 photomask는 무엇입니까?
유리 기판에 투명 영역과 불투명 크롬 패턴을 형성한 완성 광학 마스크이며, 포토리소그래피 노광용으로 반복 사용하는 원판입니다.
포토마스크 빈과 어떻게 다른가요?
빈에는 최종 패턴이 없습니다. 완성된 photomask는 이미 승인된 크롬 삽화를 나릅니다.
폭과 본 기하학은 주문을 받아서 만들어질 수 있습니까?
네. 형상, 선폭, 간격, 극성 및 핵심 치수를 도안과 합의된 검사 계획에 따라 검토합니다.
어떤 삽화 파일은 제공 할 수 있습니까?
DWG, DXF, GDSII, Gerber 및 기타 합의된 벡터 형식을 기판, 노광 및 검사 요구사항과 함께 검토할 수 있습니다.
합격 및 도면 입력
제품 유형과 핵심 모수가 선택된 후에 이 품목을 확인하십시오. 완성 된 구성 요소가 제조, 검사 및 문서화되는 방법을 정의합니다.
검사 및 합격
중요한 차원, 배치, 명확한 결점, 불투명한 결점 및 승인한 삽화에 대하여 본 오리엔테이션을 검사하십시오.
그림 또는 조회에서 제공하는 것
- 유리 재질, 치수 및 두께
- 투명/불투명 도안, 선폭, 간격 및 극성
- 패턴 면, 관찰 방향, 원점 및 정렬 마크
- 작동 파장, 광학 밀도 및 검사 기준
제조 및 검사 검토를 위해 도면, 참고 도안 또는 초기 사양을 보내 주세요.
이 제품 상담이 제품의 기술 가이드
제조 역량
일부 제품 상세 및 기술 페이지는 영어로만 제공됩니다. EN 표시가 있는 링크는 영어 페이지로 연결됩니다.