Especifique el material real
Use silica sintética fusionada como designación técnica. Una amplia etiqueta “quartz” no identifica el comportamiento óptico o de grado requerido por el proceso.
Fotomáscaras de cromo sobre sílice fundida
Fotomáscaras de cromo sobre sílice fundida compatibles con UV para transmisión UV especificada y baja expansión térmica.
Aplicaciones y casos de uso EN
Cristal estable para exposición exigente
Una fotomáscara de cromo sobre sílice fundida es una máscara de exposición terminada con un patrón de cromo sobre dicho sustrato. El término comercial «fotomáscara de cuarzo» debe concretarse mediante el grado del material, el espesor y la transmisión requerida a la longitud de onda de exposición.
Silica fusionada describe el sustrato; el contacto o la proximidad todavía describe cómo se utiliza la máscara terminada.
- Estado de suministro
- Máscara de patrón terminada
- Substrate
- Sílice fundido sintético
- Rendimiento UV
- Grado, espesor y longitud de onda dependiente
- Base de órdenes
- Revisión de plano aprobado y material
Elegir el sustrato según las condiciones de exposición
Comience con el trabajo que el componente debe realizar, luego confirme el material y la geometría que hacen que el resultado sea repetible.
Estado la longitud de onda operativa
La transmisión UV depende del grado del material, el espesor y la longitud de onda. Esta página no garantiza una longitud de onda universal para todas las máscaras de sílice fundida.
Mantenga el material y la superposición separados
La baja dilatación térmica favorece la estabilidad dimensional, pero el tamaño final de las características transferidas y la superposición también dependen del equipo, la pieza y el proceso de exposición.
Vista de ingeniería
Cómo funciona esta configuración
Elija sílice fundida cuando el espectro de exposición, las variaciones de temperatura o las grandes distancias entre coordenadas hagan importantes la transmisión y la dilatación del sustrato.
Cristal óptico especificadoRuta óptica general
Sílice fundido sintéticoRequisitos UV y térmicos
Especificaciones técnicas
Elija sílice fundida cuando el espectro de exposición, las variaciones de temperatura o las grandes distancias entre coordenadas hagan importantes la transmisión y la dilatación del sustrato.
| Propiedad | Especificación |
|---|---|
| PropiedadTipo de producto | EspecificaciónAcabado cromo-en-fused-silica photomask |
| PropiedadSubstrate | EspecificaciónSilica fundida sintética seleccionada para la longitud de onda operativa |
| PropiedadTransmisión UV | EspecificaciónSegún el grado material, el espesor y la longitud de onda |
| PropiedadPlanitud | EspecificaciónSegún la configuración de dibujo y exposición aprobada |
| PropiedadRecubrimiento | EspecificaciónCromo patentado (Cr) |
| PropiedadPolaridad del patrón | EspecificaciónRegiones claras y opacas definidas por obras de arte aprobadas |
| PropiedadAncho de línea mínimo | EspecificaciónSegún la revisión aprobada del dibujo y la fabricación |
| PropiedadLínea mínima espaciamiento | EspecificaciónSegún la revisión aprobada del dibujo y la fabricación |
| PropiedadTolerancia de dimensión crítica | EspecificaciónSegún el dibujo aprobado, el área de inspección y el método de medición |
| PropiedadDensidad óptica | EspecificaciónEspecificado en la longitud de onda operativa |
| PropiedadInspección | EspecificaciónDimensiones críticas, posición, polaridad, orientación y límites de defectos acordados. |
Aplicaciones y selección
Elija sílice fundida cuando el espectro de exposición, las variaciones de temperatura o las grandes distancias entre coordenadas hagan importantes la transmisión y la dilatación del sustrato.
- Litografía de contacto y proximidad
- Semiconductor, visualización y distribución de circuitos
- Instrumentación óptica y microfabricación personalizada
- fotolitografía UV
- MEMS y fabricación de microestructura
- Transferencia de patrón óptico de precisión
Personalizar en torno al proceso
Material, dimensiones, superficie, patrón, recubrimiento y documentación se pueden revisar juntos cuando la configuración estándar no es suficiente.
Artwork y polaridad
Grado, dimensiones y grosor sintético fusionado con sílice
Exposición y condiciones ópticas
Exposición longitud de onda y transmisión necesaria del sustrato
Registro y aceptación
Obras de arte, polaridad, línea mínima/espacio y orientación
Donde se utiliza este producto
Máscaras acabadas en un sustrato de baja expansión.
Máscaras de cromo patentadas sobre silica fundida para un proceso de exposición compatible.
Preguntas frecuentes
Respuestas cortas a las preguntas que afectan la elección material, la definición de patrón y la aceptación.
¿Por qué elegir silica fusionada en lugar de cristal de soda-lime?
La sílice fundida suele ofrecer menor dilatación térmica y una transmisión UV útil. La elección depende de la longitud de onda, el espesor y los requisitos de estabilidad dimensional.
¿Qué grado de sílice fusionado debería especificar?
Indique la longitud de onda de trabajo, el espesor del sustrato y la transmisión requerida para evaluar el grado del material.
¿Se pueden personalizar las dimensiones y el patrón de cromo?
Sí. La geometría del sustrato, el patrón, la polaridad, la densidad óptica y la inspección pueden definirse mediante el plano aprobado.
¿Se suministra como un patrón terminado?
Sí. Esta página describe una máscara de patrón terminado. Los blancos cromados en sílice no pintados se enumeran por separado.
Entradas de aceptación y plano
Confirme estos elementos después de seleccionar el tipo de producto y los parámetros básicos. Definen cómo se fabrica, verifica y documenta el componente terminado.
Inspección y aceptación
Verificar la identificación de materiales, geometría de sustrato, dimensiones de patrón crítico y criterios de defecto claros/opacos.
Qué proporcionar en el dibujo o la pregunta
- Grado, dimensiones y grosor sintético fusionado con sílice
- Exposición longitud de onda y transmisión necesaria del sustrato
- Obras de arte, polaridad, línea mínima/espacio y orientación
- Chrome blanco óptico, criterios de flatness e inspección
Envíe el plano, el diseño de referencia o la especificación preliminar para revisar fabricación e inspección.
Comentar este productoGuías técnicas para este producto
Capacidades de fabricación
Algunas páginas de productos y contenido técnico solo están disponibles en inglés. Los enlaces marcados EN abren una página en inglés.