Separar la máscara del blanco
Este producto se entrega con el patrón de cromo final. Un blank recubierto de cromo no tiene patrón y requiere posteriormente fotorresina, exposición y grabado.
Fotomáscaras de cromo sobre vidrio
Patrones de cromo personalizados sobre vidrio sodocálcico u otro vidrio especificado para exposición y transferencia óptica.
Aplicaciones y casos de uso EN
La transferencia de patrón comienza con la máscara
Una fotomáscara de cromo sobre vidrio es una placa de exposición con patrón: el cromo define las zonas opacas y el vidrio transmite luz en las zonas transparentes. Contiene el diseño aprobado, con polaridad, dirección de observación y referencias de alineación especificadas para el proceso.
Los patrones pueden incluir líneas, espacios, rejillas, aberturas, marcas de alineación, textos y diseños personalizados definidos por el dibujo.
- Estado de suministro
- Máscara de patrón terminada
- Substrate route
- Cristal óptico especificado
- Dimensiones críticas
- Plano y plan de inspección
- Base de órdenes
- Revisión de artwork aprobada
Definir la máscara terminada antes de la producción
Comience con el trabajo que el componente debe realizar, luego confirme el material y la geometría que hacen que el resultado sea repetible.
Marcar regiones claras y opacas
La terminología positiva y negativa puede variar según el proceso. El diseño aprobado debe identificar expresamente qué regiones transmiten luz y cuáles conservan el cromo.
Controlar orientación y revisión
El lado del patrón, la dirección de visualización, el texto legible, el origen de coordenadas y la revisión del dibujo se confirman antes de la liberación del patrón.
Vista de ingeniería
Cómo funciona esta configuración
Elija esta máscara terminada de uso general cuando el vidrio óptico especificado cumpla los requisitos de longitud de onda, condiciones térmicas y estabilidad dimensional.
- Cromo patentado
- Región opaca
- Sustrato de vidrio óptico
- Región clara
Especificaciones técnicas
Elija esta máscara terminada de uso general cuando el vidrio óptico especificado cumpla los requisitos de longitud de onda, condiciones térmicas y estabilidad dimensional.
| Propiedad | Especificación |
|---|---|
| PropiedadTipo de producto | EspecificaciónAcabado cromado en vidrio fotomascara |
| PropiedadSubstrate | EspecificaciónSoda-lime u otro vidrio óptico especificado |
| PropiedadRecubrimiento | EspecificaciónCromo patentado (Cr) |
| PropiedadPolaridad del patrón | EspecificaciónRegiones claras y opacas definidas por obras de arte aprobadas |
| PropiedadAncho de línea mínimo | EspecificaciónSegún la revisión aprobada del dibujo y la fabricación |
| PropiedadLínea mínima espaciamiento | EspecificaciónSegún la revisión aprobada del dibujo y la fabricación |
| PropiedadTolerancia de dimensión crítica | EspecificaciónSegún el dibujo aprobado, el área de inspección y el método de medición |
| PropiedadDensidad óptica | EspecificaciónEspecificado en la longitud de onda operativa |
| PropiedadInspección | EspecificaciónDimensiones críticas, posición, polaridad, orientación y límites de defectos acordados. |
| PropiedadMétodo de exposición | EspecificaciónContacto, proximidad u otro método especificado |
Aplicaciones y selección
Elija esta máscara terminada de uso general cuando el vidrio óptico especificado cumpla los requisitos de longitud de onda, condiciones térmicas y estabilidad dimensional.
- Litografía de contacto y proximidad
- Semiconductor, visualización y distribución de circuitos
- Instrumentación óptica y microfabricación personalizada
- Transferencia de patrón fotolitográfico a medida
- MEMS y microfabricación compatible
- Aperturas ópticas, rejillas y estructuras de referencia
Personalizar en torno al proceso
Material, dimensiones, superficie, patrón, recubrimiento y documentación se pueden revisar juntos cuando la configuración estándar no es suficiente.
Artwork y polaridad
Material de vidrio, dimensiones y espesor
Exposición y condiciones ópticas
Obras de arte claras/opacas, anchura de línea, espaciado y polaridad
Registro y aceptación
Patrón lateral, dirección de visualización, marcas de origen y alineación
Donde se utiliza este producto
Obras de arte opaca/clara para un proceso de exposición compatible.
Preguntas frecuentes
Respuestas cortas a las preguntas que afectan la elección material, la definición de patrón y la aceptación.
¿Qué es una fotomascara de cromo en cristal?
Es una máscara óptica terminada con regiones transparentes y un patrón de cromo opaco sobre vidrio, utilizada como original reutilizable para la exposición fotolitográfica.
¿Cómo difiere de un fotón en blanco?
Un blanco no tiene un patrón final. Una fotomascara acabada ya lleva la obra de cromo aprobada.
¿Se puede personalizar el ancho de línea y la geometría del patrón?
Sí. La geometría, la anchura de línea, la separación, la polaridad y las dimensiones críticas se revisan a partir del diseño y del plan de inspección acordado.
¿Qué archivos de arte puedo proporcionar?
Podemos revisar DWG, DXF, GDSII, Gerber y otros formatos vectoriales acordados junto con los requisitos de sustrato, exposición e inspección.
Entradas de aceptación y plano
Confirme estos elementos después de seleccionar el tipo de producto y los parámetros básicos. Definen cómo se fabrica, verifica y documenta el componente terminado.
Inspección y aceptación
Compruebe las dimensiones críticas, colocación, defectos claros, defectos opacos y orientación de patrón contra la obra de arte aprobada.
Qué proporcionar en el dibujo o la pregunta
- Material de vidrio, dimensiones y espesor
- Obras de arte claras/opacas, anchura de línea, espaciado y polaridad
- Patrón lateral, dirección de visualización, marcas de origen y alineación
- Manejo de longitud de onda, densidad óptica y criterios de inspección
Envíe el plano, el diseño de referencia o la especificación preliminar para revisar fabricación e inspección.
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Capacidades de fabricación
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