ガラス基板とフォトリソグラフィ加工

材料とグレード

ガラスの種類とグレード。不明な場合は入手可能な仕様またはサンプル情報を提示してください。

寸法と形状

長さ、幅、直径、外形、開口、データム位置。

厚さ

公称厚さ、許容ばらつき、関連する厚さ要件。

表面と平面度

図面で指定された研磨領域、平面度、表面品質。

エッジ状態

面取り、欠け基準、エッジ欠陥、実装要件。

既存コーティング

膜種、コート面、有効領域、保護が必要な面。

フォトレジスト

レジスト仕様、厚さ要件、後工程の露光条件。

パターンとアートワーク

図面・アートワークのリビジョン、線幅、間隔、ピッチ、極性、有効領域。

数量

サンプル数量、生産ロット、想定リピート発注。

受入と納品

重要公差、検査項目、梱包、必要な記録。

支給材料

材料識別、寸法、既存の表面欠陥、コーティング状態。

基板準備

厚さ、寸法、表面、エッジ、適用される平面度要件。

クロムコーティング

コート面、被覆、膜欠陥、合意した光学特性。

フォトレジスト塗布

被覆、目視異常、合意したコーティング特性。

パターン加工

パターン完全性、重要寸法、向き、位置、欠陥基準。

レーザー切断

外形、位置、エッジ欠け、その他の図面要件。

最終納品

数量、識別、部品保護、合意した検査記録。

すべての注文に全検査が含まれるわけではありません。加工前に社内測定と外部試験の可否を確認してください。