USAF 1951 解像度ターゲット
画像評価・校正用ターゲット
USAF・NBS 解像度ターゲット、シーメンススター、チェッカーボード、ドット配列、同心正方形、複合撮像ターゲット。パターンの種類を選び、次に寸法形式と極性を決めます。
解像度評価、幾何校正、実寸換算のどれが目的かを先に決め、パターン、基板、測定記録を指定します。パターンの公称寸法は校正の不確かさを示すものではありません。
解像度・ピント評価ターゲット
カメラ校正用ターゲット
幾何・複合試験用ターゲット
用途に合った製品を選ぶ
| 目的・選択項目 | 製品の選択肢 | 選定のポイント |
|---|---|---|
| 細部を分離して観察できるか？ | USAF／NBS／シーメンススターEN | 一定の撮像条件で、分離できるバーや方向別の細部を比較します。 |
| 周波数によってコントラストはどう変わるか？ | 傾斜エッジ SFR／MTF ターゲットEN | 対応ソフトウェアを使用します。照明と画像処理も測定されるシステム応答に含まれます。 |
| 画像座標は幾何学的に正しいか？ | チェッカーボード／ドット／グリッドEN | 校正アルゴリズムが対応する配置を選び、必要な視点の画像を取得します。 |
| 一画素は何マイクロメートルか？ | ステージミクロメーター／XY スケールEN | 試料面に置いた実寸スケールにより、その光学構成での画像単位を長さに換算します。 |
選択した条件を一つの仕様にまとめる
- ターゲットの種類と測定目的
- パターン形状と特徴寸法
- 基板・有効開口・方向
- 校正・検査要件
測定の目的
測定する量に合わせてターゲットを選ぶ。
テストターゲットは万能な解像度板ではありません。パターン、基板、照明、解析方法を、分離可能な細部、SFR/MTF、幾何形状、歪み、スケール、位置合わせなどの測定目的に合わせます。
分離可能な細部
USAF 1951、NBS 1963A などのバーターゲットは、所定の光学条件で分離して見える最小の線群を比較します。
このターゲット群を見るENピントと方向別の細部
シーメンススターは一つの視野に多方向のエッジを含みます。星形状、倍率、照明を定めて、ピントと方向別のぼけを比較します。
このターゲット群を見るEN幾何形状と歪み
ドット配列、チェッカーボード、グリッドは既知の特徴点座標を提供し、画像スケール、レンズ歪み、姿勢の推定に使います。
このターゲット群を見るEN複数項目の撮像検査
複合ターゲットは複数の検査領域を組み合わせます。領域ごとに形状、解析方法、受入基準が必要です。
このターゲット群を見るEN測定条件を定義する
同じパターンでも、倍率、作動距離、照明、ピント、サンプリング、画像処理が変われば結果は異なります。他の技術者が再現できるよう、ターゲット形状と試験方法を一緒に記録します。
- 物体面・像面の周波数とスケール
- 透過・反射の照明配置
- 特徴寸法・ピッチ・線幅・デューティ比
- 有効範囲・基準マーク・方向・除外エッジ領域
- 公称値・許容誤差・必要な報告書
適切なターゲットが、測定の意味を明確にします。
TL OPTIK は測定目的に合わせたパターンターゲットを開発します。 解像度、SFR/MTF、歪み、寸法校正にはそれぞれ異なるパターンが必要です。カメラ、レンズ、照明、解析方法に合わせて特徴寸法、有効範囲、基板を検討します。
テストターゲットについて相談するテストターゲットの質問
USAF 1951 ターゲット自体が校正済みのカメラ解像度結果ですか？
いいえ。定めた条件で細部の分離を評価する幾何パターンです。再現性のある解像度結果を得るには、構成、ピント、照明、判定規則、報告方法を明示する必要があります。
一枚のターゲットで歪みと解像度を測れますか？
複合ターゲットで複数領域を組み合わせることはできますが、各領域には個別の形状と解析方法があります。解像度、歪み、座標の受入基準は分けて管理します。
マシンビジョン校正に適したターゲットの条件は？
校正ソフトが特徴点を安定して検出でき、実座標が既知で、平坦かつ安定した基板上に配置されていることが必要です。カメラとレンズに合わせてピッチ、範囲、コントラストを選びます。
選定の要点
校正・評価ターゲットは既知の形状やコントラストを提供し、カメラ、レンズ、測定システムの確認に使用します。
製品詳細・技術記事は現在英語で提供しています。EN のリンクは英語ページを開きます。