製造能力

基板加工からパターン転写、切断、検査まで。製造工程を順に確認することも、必要な工程を直接選ぶこともできます。

パターンを支える製造現場

この現場でガラス加工、成膜、パターン形成を行います。レーザー直接描画で微細形状を作り、完成したパターンを検査します。

基板、機能形状、膜構成、承認済みパターンデータを定義します。

ガラス、溶融石英、対応する硬質基板の形状、表面、平面度、端面処理、清浄度を管理して加工します。

膜厚、均一性、欠陥密度を管理したマイクロ・ナノ薄膜、機能膜、多層膜の開発・製造。

原稿や設計図面を、管理されたフォトリソグラフィ用パターンに変換します。

露光方式を選択し、最終外形と開口を定義します。

マスク、ディスク、スケール、レチクル、カスタム部品向けにガラス上へ微細光学パターンを形成します。

Heidelberg Instruments のレーザー直接描画による微細クロムパターン、大面積フォトマスク、位置合わせされたマスク層。

狭い切断幅、低い熱入力、再現性のあるプログラム形状で、ガラス、光学フィルター、薄型パターン部品を切断・トリミングします。

パターンを評価し、継続注文を管理し、受入記録を定義します。

パターン欠陥を特定し、形状と光学コントラストを確認し、クロム過剰・欠損の局所修正を評価します。

図面、試作品承認、継続生産を、一貫したプロジェクト仕様で管理します。

測定基準、欠陥処置、トレーサビリティ、合意した納品書類。

TL OPTIK はガラス加工、成膜、パターンデータ準備、フォトリソグラフィ、切断、検査に対応します。必要な工程、または承認図面に基づくパターン加工済み部品をご相談ください。

製品詳細・技術記事は現在英語で提供しています。EN のリンクは英語ページを開きます。