도면 맞춤형 포토마스크 블랭크

Q: 자체 도면으로 블랭크를 주문할 수 있나요?

예. 도면 개정, 기판, 코팅 및 공정 요구 사항을 검토합니다.

Q: 맞춤형 빈은 고정 표준없이 공급 될 수 있습니까?

네. 실제 노광 및 패턴 전사 공정에 맞춰 재료와 코팅 공정을 정의할 수 있습니다.

Q: 문의 시 어떤 정보를 제공해야 하나요?

치수, 재료, 크롬 코팅 또는 레지스트 요구사항, 수량, 용도 및 중요한 인수 기준을 알려 주세요.

Q: 빈을 주문하기 위해 패턴 작품을 완성해야합니까?

블랭크 주문에는 주로 기판 및 박막 사양이 필요합니다. 패턴 가공도 필요하면 도안, 극성 및 개정 번호를 제공하세요.

도면 기반 맞춤형 포토마스크 블랭크입니다. 유리 또는 용융 실리카 기판, 크롬 코팅, 포토레지스트, 치수, 두께 및 검사 요구사항을 지정하세요.

공정에 맞춰 구성한 블랭크.

맞춤형 포토마스크 블랭크는 고객의 후속 패턴 가공 단계에 필요한 재료, 형상, 코팅 및 공정 요구사항에 맞춰 구성합니다.

견적 요청 사양 보기

제품 선택

제품 개요 및 기능

맞춤형 블랭크는 연마된 유리 또는 용융 실리카를 바탕으로 크롬층, 포토레지스트 상태, 광학 목표, 가장자리 형상, 검사 기록을 지정할 수 있습니다. 표준 블랭크가 도면이나 노광 공정에 맞지 않을 때 적합합니다.

그것을 선택할 때

자체 수행 공정에 맞는 공급 단계를 선택하세요. 코팅 전의 유리 기판, 레지스트 도포 전의 크롬 코팅 기판, 또는 노광 전의 레지스트 도포 플레이트를 선택할 수 있습니다.

제품 선택과 납품

제품 구성

맞춤형 포토마스크 블랭크
제품 유형	응용별 포토마스크 블랭크
입력 정보	그림, 삽화, 마스크 체재 또는 과정 명세
구성	기판, 크롬층, 포토레지스트 및 가장자리 형상
핵심 관리 항목	차원, 편평함, 표면, 광학적인 표적 및 청결
검사 및 납품	동의한 검사 기록을 가진 Prototype 또는 반복 양

대형 유리 기판

대형 기판의 평면도는 플레이트 치수와 두께에 따라 지정합니다. 표시된 대형 구성에는 해당 한계값을 적용하고, 소형 정밀 기판의 평면도 값을 모든 크기에 동일하게 적용하지 마세요.

대형 기판 평탄도 규정표
두께 (mm)	판 차원 범위 (mm)	최대 편평함 (μm)
3.0 / 4.8	228.6 × 228.6 ~ 508 × 609.6	≤70
3.0 / 4.8	609.6 × 609.6 ~ 700 × 800	≤100
7.8	620 × 720 ~ 700 × 800	≤120

표시된 규격 범위에서 필요한 플레이트 치수, 지지 조건, 측정 영역, 검사 방향을 지정하세요. 공급 사양에는 코팅 전과 후 중 어느 상태에서 평면도를 평가하는지도 명시해야 합니다.

기판 포맷별 크롬막 핀홀 등급

이 사양에서 핀홀은 크롬 박막에 의도치 않게 생긴 투명 결함입니다. 설계된 광학 개구가 아니며 유리를 관통하는 구멍을 의미하지 않습니다. 크기와 코팅 인수 등급을 함께 선택하세요.

작은 체재 융합 실리카 블랭크: pinhole 한계
합격 등급	불합격으로 판정하는 핀홀 크기
표준 급료	d ≥5 µm
우수한 급료	d ≥1 µm

이 기준값은 불합격으로 판정하는 결함 크기를 정의합니다. 검사 사양에는 기준값 미만 결함의 허용 개수와 검사 영역도 정의해야 합니다.

큰 체재 크롬 입히는 블랭크: pinhole 한계
합격 등급	결함 크기 d	합격 한도
A	5 ≤ d < 10 µm	≤0.01 / cm²
A	d ≥ 10 µm	허용되지 않음
B	5 ≤ d < 10 µm	≤0.01 / cm²
B	10 ≤ d < 30 µm	≤0.003 / cm²
B	d ≥ 30 µm	허용되지 않음
C	5 ≤ d < 10 µm	≤0.01 / cm²
C	10 ≤ d < 50 µm	≤0.003 / cm²
C	d ≥ 50 µm	허용되지 않음

결함이 없는 임계값은 각 크기 대역의 경계에서 우선합니다. 예를 들어, B 등급은 30 µm 이상의 모든 핀홀을 거부합니다. 영역 기반 밀도 제한에 대해 검사 영역, 에지 제외 및 카운트 반올림 규칙을 지정합니다. 5 µm보다 작은 핀홀에는 허용 값이 할당되지 않습니다.

제품 정의