実際の材料を指定する
技術的な指定として総合的な溶かされた無水ケイ酸を使用して下さい。 幅広い「quartz」ラベルは、プロセスによって必要なグレードや光学的な動作を識別しません。
クロム合成石英フォトマスク
指定UV透過率と低熱膨張が必要な用途向けの、UV対応合成石英クロムフォトマスク。
厳しい露光条件向けの安定したガラス
合成石英上にクロムパターンを形成した、完成済みの露光用フォトマスクです。調達時の「石英フォトマスク」という呼称だけでなく、基板の具体的なグレード、厚さ、使用する露光波長での透過率を指定してください。
溶融石英は基板材料を表し、コンタクト／プロキシミティは完成マスクの使用方法を表します。
- 供給の状態
- 完成したパターン付きマスク
- 基板
- 合成溶融石英
- UV性能
- グレード、厚さ、波長による
- 注文基準
- 承認図面と材料の確認
露光条件から基板を選ぶ
コンポーネントが実行されなければならないジョブから始めて、結果を繰り返すマテリアルとジオメトリを確認します。
使用波長を明記する
紫外透過率は材料グレード、厚さ、波長によって異なります。このページは、すべての溶融石英マスクに共通の対応波長を保証するものではありません。
材料特性と重ね合わせ精度を分けて考える
低熱膨張は寸法安定性に寄与しますが、最終的な転写寸法と重ね合わせ精度は、露光装置、加工対象、工程にも依存します。
エンジニアリングビュー
この設定はどのように機能するか
露光スペクトル、温度変動、長い座標間距離により基板の透過性と熱膨張が重要になる場合は、溶融石英を選択します。
特定光学ガラス概要の光学ルート
合成溶融石英紫外線および熱条件
技術仕様
露光スペクトル、温度変動、長い座標間距離により基板の透過性と熱膨張が重要になる場合は、溶融石英を選択します。
| 特性 | 仕様 |
|---|---|
| 特性製品の種類 | 仕様完成品の溶融石英クロムフォトマスク |
| 特性基板 | 仕様使用波長に合わせて選定した合成溶融石英 |
| 特性UV透過率 | 仕様材料グレード、厚さ、波長による |
| 特性平面度 | 仕様承認図面と露光構成に従う |
| 特性コーティング | 仕様パターンクロム(Cr) |
| 特性パターン極性 | 仕様承認されたアートワークによって定義される明確で、不透明な地域 |
| 特性最小線幅 | 仕様承認されたデッサンおよび製造業の検討に従って |
| 特性最小線の間隔 | 仕様承認されたデッサンおよび製造業の検討に従って |
| 特性重要寸法公差 | 仕様承認されたデッサン、点検区域および測定方法に従って |
| 特性光学密度 | 仕様動作波長で指定 |
| 特性検査 | 仕様重要寸法、位置、極性、向き、および合意した欠陥許容限度。 |
用途と選定
露光スペクトル、温度変動、長い座標間距離により基板の透過性と熱膨張が重要になる場合は、溶融石英を選択します。
- コンタクト／プロキシミティリソグラフィ
- 半導体、ディスプレイ、回路パターン
- 光学計測とカスタムマイクロファブリケーション
- UVフォトリソグラフィ
- MEMS・微細構造加工
- 精密光学パターン転送
工程に合わせてカスタマイズ
標準構成が十分でないとき材料、次元、表面、パターン、コーティングおよび文書は一緒に確認することができます。
アートワークと極性
合成溶融石英のグレード、寸法、厚さ
露光と光学条件
露光波長と必要な基板透過率
位置合わせと受入検査
アートワーク、極性、最低ライン/スペースおよびオリエンテーション
本製品が使用される場所
低膨張基板に仕上げたマスクです。
対応する露光工程向けの、溶融石英上のクロムパターンマスク。
よくある質問
材料の選択、パターン定義および受け入れに影響を与える質問への短い答え。
なぜソーダライムガラスの代わりに溶融シリカを選ぶのですか?
溶融石英は一般に熱膨張が小さく、紫外域で有用な透過性を持ちます。適切な選定には、波長、厚さ、寸法安定性の要件を考慮します。
どの溶融石英グレードを指定すればよいですか？
材料グレードを評価するため、使用波長、基板厚さ、必要な透過率をご提示ください。
寸法とクロムパターンをカスタマイズできますか?
はい。基板形状、パターン、極性、光学濃度、検査要件を承認図面に基づいて定義できます。
これは完成したパターンとして供給されますか?
はい。 このページでは、完成したマスクを説明します。 ノンパターンのクロムオン溶融シリコンブランクは別々にリストされています。
受入・図面入力項目
製品の種類とコアパラメータの選択後、これらの項目を確認します。 完成したコンポーネントの製造、チェック、文書化の方法を定義します。
点検および受諾
材料の同一証明、基板幾何学、重要なパターン次元および明確/不透明の欠陥の条件を検証して下さい。
デッサンか照会で提供することは何ですか
- 合成溶融石英のグレード、寸法、厚さ
- 露光波長と必要な基板透過率
- アートワーク、極性、最低ライン/スペースおよびオリエンテーション
- クロム膜の光学性能目標、平面度、検査基準
製造と検査の検討用に、図面、参考原稿、または初期仕様をお送りください。
この製品を相談するこの製品の技術ガイド
製造能力
一部の製品詳細・技術記事は英語のみで提供しています。ENと表示されたリンクは英語ページを開きます。