完成マスクと未パターンブランクを区別
本製品は最終クロムパターンを形成して納入します。クロムコートブランクは未パターン品であり、その後のレジスト塗布、露光、エッチングが必要です。
クロムガラスフォトマスク
光学露光・パターン転写用のソーダライムまたは指定ガラス上のカスタムクロムパターン。
パターン転送はマスクで始まります
クロム・オン・ガラスフォトマスクは、クロムが遮光領域を定義し、透明領域ではガラスを通して光を透過するパターン付き露光板です。承認原稿を形成し、露光工程に合わせてパターン極性、観察方向、位置合わせ基準を指定します。
パターンには、ライン、スペース、グリッド、絞り、アライメントマーク、テキスト、および描画定義されたカスタムレイアウトが含まれます。
- 供給の状態
- 完成したパターン付きマスク
- 基板の選定方針
- 特定光学ガラス
- 重要寸法
- 図面と検査計画
- 注文基準
- 承認済みアートワークリビジョン
生産前に完成マスクを定義
コンポーネントが実行されなければならないジョブから始めて、結果を繰り返すマテリアルとジオメトリを確認します。
マーククリアと不透明地域
ポジ／ネガの呼称は工程によって異なる場合があります。承認原稿には、光を透過する領域とクロムを残す領域を明確に示してください。
向きとリビジョンを管理
パターンデータ確定前に、パターン面、観察方向、文字の読取り向き、座標原点、図面改訂番号を確認します。
エンジニアリングビュー
この設定はどのように機能するか
指定の光学ガラスが露光波長、許容熱条件、寸法安定性の要件を満たす場合に、この汎用完成マスクを選択します。
- パターンクロム
- 不透明領域
- 光学ガラス基板
- クリア領域
技術仕様
指定の光学ガラスが露光波長、許容熱条件、寸法安定性の要件を満たす場合に、この汎用完成マスクを選択します。
| 特性 | 仕様 |
|---|---|
| 特性製品の種類 | 仕様クロームオングラスフォトマスク完成 |
| 特性基板 | 仕様ソーダライムまたは他の指定光学ガラス |
| 特性コーティング | 仕様パターンクロム(Cr) |
| 特性パターン極性 | 仕様承認されたアートワークによって定義される明確で、不透明な地域 |
| 特性最小線幅 | 仕様承認されたデッサンおよび製造業の検討に従って |
| 特性最小線の間隔 | 仕様承認されたデッサンおよび製造業の検討に従って |
| 特性重要寸法公差 | 仕様承認されたデッサン、点検区域および測定方法に従って |
| 特性光学密度 | 仕様動作波長で指定 |
| 特性検査 | 仕様重要寸法、位置、極性、向き、および合意した欠陥許容限度。 |
| 特性露光方式 | 仕様コンタクト、プロキシミティ、または指定の他手法 |
用途と選定
指定の光学ガラスが露光波長、許容熱条件、寸法安定性の要件を満たす場合に、この汎用完成マスクを選択します。
- コンタクト／プロキシミティリソグラフィ
- 半導体、ディスプレイ、回路パターン
- 光学計測とカスタムマイクロファブリケーション
- カスタムフォトリソグラフィパターン転写
- MEMSと互換性のあるマイクロファブリケーション
- 光学開き、格子および参照の構造
工程に合わせてカスタマイズ
標準構成が十分でないとき材料、次元、表面、パターン、コーティングおよび文書は一緒に確認することができます。
アートワークと極性
ガラス材質、寸法、厚さ
露光と光学条件
透明／遮光原稿、線幅、間隔、極性
位置合わせと受入検査
パターン面、観察方向、原点、位置合わせマーク
本製品が使用される場所
対応する露光工程用の遮光／透明原稿。
よくある質問
材料の選択、パターン定義および受け入れに影響を与える質問への短い答え。
クロームオングラスフォトマスクとは?
ガラス基板上に透明領域と不透明なクロムパターンを持つ完成光学マスクで、フォトリソグラフィ露光用の再使用可能な原版として用います。
フォトマスクブランクとの違いは?
ブランクは最終パターンはありません。 完成したフォトマスクは既に承認されたクロムのアートワークを運びます。
ライン幅とパターン形状をカスタマイズできますか?
はい。形状、線幅、間隔、極性、重要寸法を、原稿と合意した検査計画に基づいて確認します。
どのアートワークファイルを提供できますか?
DWG、DXF、GDSII、Gerber、その他合意したベクター形式を、基板、露光、検査要件と併せて確認できます。
受入・図面入力項目
製品の種類とコアパラメータの選択後、これらの項目を確認します。 完成したコンポーネントの製造、チェック、文書化の方法を定義します。
点検および受諾
承認されたアートワークに対する重要な寸法、配置、明確な欠陥、不透明の欠陥およびパターンのオリエンテーションをチェックして下さい。
デッサンか照会で提供することは何ですか
- ガラス材質、寸法、厚さ
- 透明／遮光原稿、線幅、間隔、極性
- パターン面、観察方向、原点、位置合わせマーク
- 作動の波長、光学密度および点検基準
製造と検査の検討用に、図面、参考原稿、または初期仕様をお送りください。
この製品を相談するこの製品の技術ガイド
製造能力
一部の製品詳細・技術記事は英語のみで提供しています。ENと表示されたリンクは英語ページを開きます。