Aplicaciones y casos de uso EN
Las formas de cromo a medida sobre vidrio plano crean patrones ópticos funcionales para detección, inspección e instrumentación. La geometría sigue su diseño.
El vidrio cromado de precisión combina regiones transparentes y opacas para formar un componente óptico definido por el dibujo. Los componentes de vidrio fotolitográfico pueden llevar líneas de referencia, rejillas, ventanas o patrones ópticos personalizados.
Empiece por la función de la pieza terminada. Una referencia para un instrumento, una máscara de exposición y un patrón maestro de replicación pueden usar materiales similares, pero necesitar geometrías, orientaciones y registros de aceptación distintos.
Utilice esta ruta para un patrón que no se ajuste a una familia de productos estándar. Describir lo que hace el patrón en el instrumento para identificar características tan críticas.
Esta ruta combina características ópticas que no se ajustan a un reticle estándar o diseño de destino. Una fotomasca se utiliza para transferir un patrón; el vidrio funcional patrón generalmente permanece en el instrumento terminado.
Combine ventanas transparentes, regiones opacas, líneas periódicas, identificación y datum. La forma de sustrato, el espesor, el lado recubrimiento y el campo óptico útil son opciones independientes dentro del diseño del instrumento.
Un componente de vidrio con la geometría de recubrimiento, el contorno y los registros de inspección acordados.
| Regiones funcionales | Ventanas claras, patrones opacos y marcas de referencia |
|---|---|
| Patrón datum | Coordenadas en relación con la referencia de montaje |
| Modo óptico | Transmisión o reflexión en la longitud de onda especificada |
Inspeccione las dimensiones críticas acordadas, el registro y los defectos claros/opacos contra la revisión del dibujo aprobada.
Una película opaca y zonas transparentes pueden formar líneas, ventanas, escalas y marcas de posición sobre un mismo sustrato. Esto resulta útil cuando una retícula o diana estándar no ofrece la combinación necesaria. Defina qué zonas transmiten luz, cuáles la bloquean y cuáles sirven solo para identificación.
Una ventana puede definir un campo de visualización mientras que los fiduciales cercanos ubican ese campo para una cámara. Su posición relativa puede importar más que el tamaño general de la placa. Especifique las relaciones funcionales y el montaje datum para que las características separadas puedan ser inspeccionadas como un componente.
Una abertura en el cromo deja intacto el vidrio situado debajo. Los escalones, cavidades y orificios pasantes requieren un proceso de mecanizado distinto. Indique si el componente trabaja en transmisión o reflexión: la opacidad por sí sola no determina el contraste reflejado.
| Ítem de control | Información para confirmar |
|---|---|
| Geometría y posición |
|
| Substrato y vía óptica | Especifique grado del vidrio, espesor, longitud de onda y cara de iluminación. Revise transmisión y reflejos en la disposición óptica real. |
| Inspección y aceptación | Inspeccione las dimensiones críticas acordadas, el registro y los defectos claros/opacos contra la revisión del dibujo aprobada. |
| Plano y revisión | Proporcionar un DWG 1:1 con unidades declaradas, capas claras y opacas, dirección de visualización, área activa y la revisión aprobada. |
Obras de arte funcional personalizadas que combinan varios tipos de características.
Retículas de vidrio definidas para la referencia de visualización requerida por un instrumento óptico.
Sí. Proporcionar un sistema de coordenadas e identificar la relación crítica entre los patrones y el esquema mecánico.
Compruebe escalones en los bordes de capa, características grabadas y variaciones locales de altura en el vidrio con patrón.
Relacione las condiciones de exposición con el patrón revelado durante la fotolitografía sobre vidrio.
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