カスタムプレートフォーマットと基板/コーティング構成。
図面対応カスタムフォトマスクブランク
図面に基づくカスタムフォトマスクブランク。ガラスまたは溶融石英基板、クロム膜、フォトレジスト、寸法、厚さ、検査要件を指定できます。
製品選定
製品の概要と機能
カスタムブランクは、研磨済みガラスまたは合成石英を基に、必要なクロム膜、レジスト状態、光学仕様、エッジ形状、検査記録を組み合わせて指定できます。標準ブランクが図面や露光工程に合わない場合に適しています。
選択するとき
自社で行う工程に合わせて供給段階を選んでください。成膜前のガラス基板、レジスト塗布前のクロム成膜基板、または露光前のレジスト塗布済みプレートから選定できます。
プロダクト選択および配達
関連する製品との違い
カスタムブランクは初期の層構成やサイズを変更し、カスタムフォトマスクは完成パターンを変更します。後続工程に何を行うかを基準に製品を選んでください。
カスタマイズできるもの
基板は、材料グレード、外形、厚さ、研磨領域、エッジ仕上げによって定義します。成膜仕様では、後工程の露光やエッチングに合わせた膜構成とレジスト処理も指定できます。
納入内容
供給品は、選定した工程段階の未加工基板または成膜済みブランクです。完成したレチクル、エンコーダートラック、露光マスクにするには、後工程でのパターニングが必要です。取扱い、保管、添付する検査データは、膜構成と注文条件によって異なります。
仕様・検査
製品構成
| 製品の種類 | 用途固有のフォトマスクブランク |
|---|---|
| 入力情報 | デッサン、アートワーク、マスクのフォーマットまたはプロセス指定 |
| 構成 | 基板、クロム膜、フォトレジスト、端部形状 |
| 重要管理項目 | 寸法、平坦度、表面、光学ターゲットおよび清潔 |
| 検査・納品 | 合意された点検記録とのプロトタイプか繰り返しの量 |
大型ガラス基板
大型基板の平面度は、プレートの寸法と厚さに応じて指定します。記載された大型構成には対応する限度値を適用し、小型精密基板の平面度をすべてのサイズに適用しないでください。
| 厚さ (mm) | 版次元の範囲(mm) | 最大平坦度(μm) |
|---|---|---|
| 3.0 / 4.8 | 228.6 × 228.6 ～ 508 × 609.6 | ≤70 |
| 3.0 / 4.8 | 609.6 × 609.6 ～ 700 × 800 | ≤100 |
| 7.8 | 620 × 720 ～ 700 × 800 | ≤120 |
記載されたサイズ範囲内で、必要なプレート寸法、支持条件、測定領域、検査時の向きを指定してください。供給仕様には、平面度を成膜前と成膜後のどちらで評価するかも明記します。
基板フォーマット別クロム膜ピンホール等級
この仕様でいうピンホールは、クロム膜に意図せず生じた透明欠陥です。設計された光学開口ではなく、ガラスの貫通穴を意味しません。サイズと膜の受入等級を併せて選択してください。
| 受入等級 | 不合格となるピンホール寸法 |
|---|---|
| 標準的な等級 | d ≥5 µm |
| プレミアムグレード | d ≥1 µm |
これらのしきい値は不合格となる欠陥サイズを定義します。検査仕様には、しきい値未満の欠陥の許容個数と検査領域も定める必要があります。
| 受入等級 | 欠陥サイズ d | 受入限度 |
|---|---|---|
| A | 5 ≤ d < 10 µm | ≤0.01 / cm² |
| A | d ≥ 10 µm | 許可なし |
| B | 5 ≤ d < 10 µm | ≤0.01 / cm² |
| B | 10 ≤ d < 30 µm | ≤0.003 / cm² |
| B | d ≥ 30 µm | 許可なし |
| C | 5 ≤ d < 10 µm | ≤0.01 / cm² |
| C | 10 ≤ d < 50 µm | ≤0.003 / cm² |
| C | d ≥ 50 µm | 許可なし |
欠陥のない閾値は、各サイズバンドの境界で優先される。例えば、グレードBは、30 µ m以上のすべてのピンホールを拒否します。エリアベースの密度制限の検査エリア、エッジ除外、カウントラウンディングルールを指定します。ここでは、5 µ m未満のピンホールに許容値は割り当てられていません。
製品定義
図面対応カスタムフォトマスクブランク
カスタムフォトマスクブランクは、承認図面とお客様の後続露光工程に合わせた未パターン基板です。非標準寸法、基板グレード、クロム膜、オプションのレジスト種類・厚さを、検査要件と併せて検討します。
プロダクト特徴
- 図面に合わせてガラスまたは溶融石英、寸法、厚さ、表面状態、端部形状を設定します。
- クロム膜、フォトレジストの種類、レジスト厚さ、光学性能目標、包装を一つの管理仕様として指定します。
- 試作と繰返し生産で、同じ改訂版、検査記録、識別方式を共有できます。
カスタマイズオプション
| カスタマイズ | 顧客仕様 |
|---|---|
| 基板材料 | ソーダライムガラス/溶融シリカ/その他合意材料 |
| 基板寸法 | 図面に基づくカスタムフォーマットと厚さ |
| 表面の状態 | 片面または両面研磨 |
| クロムコーティング | 膜の種類、厚さ、光学濃度または反射率 |
| フォトレジスト | オプション：種類、極性、目標厚さ |
| 光学条件 | 透過率、反射率、光学濃度 |
| 検査 | 図面ベースの寸法、欠陥、表面およびプロセスレコード |
| 注文数量 | プロトタイプ、バッチまたは繰り返す生産 |
カスタムフォトマスクブランクに必要な情報は？
下のプロセス細部の現在のデッサンか参照のサンプルを送って下さい。
- 基板材料と寸法
- ガラス厚さと表面要件
- クロムコーティング要件
- 必要な場合は、フォトレジストの種類と目標厚さ
- 露光波長とリソグラフィ工程
- 必要な量および点検条件
- 技術的なデッサンか参照のサンプル
本製品が使用される場所
よくある質問
自社図面のブランクを注文できますか？
はい。 デッサンの修正、基板、コーティングおよびプロセス条件を点検のための送ります。
カスタムブランクは固定規格なしで供給できますか?
はい。実際の露光・パターン転写工程に合わせて、材料と成膜工程を定義できます。
問い合わせには何を記載すればよいですか？
寸法、材料、クロム膜またはレジストの要件、数量、用途、重要な受入基準をお知らせください。
ブランクを注文するには、完成したパターンアートワークが必要ですか?
ブランクの注文には、主に基板と膜の仕様が必要です。パターン加工も必要な場合は、原稿、極性、改訂番号をご提示ください。
この製品の技術ガイド
製造能力
一部の製品詳細・技術記事は英語のみで提供しています。ENと表示されたリンクは英語ページを開きます。