광학 작업에 맞춰 패턴을 조합
하나의 기판에서 불투명 막과 투명 영역으로 선, 창, 눈금, 위치 마크를 구성할 수 있습니다. 표준 레티클이나 타깃에 필요한 조합이 없는 경우에 적합합니다. 빛을 통과시키는 영역, 차단하는 영역, 식별만을 위한 마크를 구분해 주세요.
평판 유리에 맞춤형 크롬 형상을 가공하여 센싱, 검사 및 계측용 기능성 광학 패턴을 만듭니다. 형상은 고객 도안을 따릅니다.
정밀 크롬 패턴 유리는 투명 영역과 불투명 영역을 결합하여 도면으로 정의된 광학 부품을 만듭니다. 포토리소그래피 유리 부품에는 기준선, 격자, 창 또는 맞춤 광학 패턴을 형성할 수 있습니다.
완성 부품의 기능부터 정하세요. 계측용 기준 부품, 노광 마스크, 복제용 원판은 비슷한 재료를 사용하더라도 형상, 방향, 인수 기록 요구 사항이 다를 수 있습니다.
표준 제품 제품군에 적합하지 않는 패턴의이 루트를 사용합니다. 기계에서 패턴이 무엇인지 설명하기 때문에 중요한 기능은 식별 할 수 있습니다.
표준 레티클이나 타깃 배치에 맞지 않는 광학 형상을 결합하는 방식입니다. 포토마스크는 패턴 전사에 사용하며 기능성 패턴 유리는 일반적으로 완성 기기에 남습니다.
투명 창, 불투명 영역, 주기선, 식별 표시 및 기준 마크를 결합합니다. 기판 형상, 두께, 코팅면 및 유효 광학 영역은 기기 설계 내에서 각각 선택할 수 있습니다.
합의된 코팅 패턴 형상과 기판 외형을 갖춘 유리 부품을 검사 기록과 함께 제공합니다.
| 기능 영역 | 명확한 창, 불투명 본 및 참고 표 |
|---|---|
| 패턴 datum | 장착 기준에 대한 패턴 형상 좌표 |
| 광학 모드 | 지정된 파장에 전송 또는 반사 |
동의한 중요한 차원, 승인된 그림 개정에 대하여 등록 및 명확한/opaque 결점을 검열하십시오.
하나의 기판에서 불투명 막과 투명 영역으로 선, 창, 눈금, 위치 마크를 구성할 수 있습니다. 표준 레티클이나 타깃에 필요한 조합이 없는 경우에 적합합니다. 빛을 통과시키는 영역, 차단하는 영역, 식별만을 위한 마크를 구분해 주세요.
창은 관찰 영역을 정의하고 주변 기준 마크는 카메라가 해당 영역의 위치를 찾게 합니다. 상대 위치가 전체 판 크기보다 중요할 수 있습니다. 기능적 관계와 장착 기준을 지정하여 개별 형상을 하나의 부품으로 검사할 수 있게 합니다.
크롬 막의 투명 영역 아래에도 유리는 그대로 남아 있습니다. 단차, 홈, 실제 관통 구멍은 별도 가공이 필요합니다. 불투명도만으로 반사 대비가 결정되지는 않으므로, 투과형 또는 반사형 사용 여부를 명시하세요.
| 관리 항목 | 확인할 정보 |
|---|---|
| 기하학 및 위치 |
|
| 기판 및 광학 경로 | 유리 등급, 두께, 파장 및 조명면을 지정하세요. 실제 광학 배치에서 투과와 반사를 검토합니다. |
| 검사 및 합격 | 동의한 중요한 차원, 승인된 그림 개정에 대하여 등록 및 명확한/opaque 결점을 검열하십시오. |
| 도면 및 리비전 | 선언된 단위, 명확하고 불투명한 층, 보기 방향, 활동적인 지역 및 승인된 개정을 가진 1:1 DWG를 제공하십시오. |
몇몇 특징 유형을 결합하는 주문 기능적인 삽화.
광학 기기에서 요구되는 보기 참고를 위한 그림 정의 유리 레티클s.
네. 하나의 좌표계를 사용하고 패턴 간 관계 및 기계적 외형과의 중요한 위치 관계를 명시하세요.
패턴 유리의 박막 가장자리 단차, 식각 형상 및 국부 높이 변화를 확인합니다.
유리 포토리소그래피 가공에서 노광 조건과 현상 후 패턴을 연계하여 확인합니다.
일부 제품 상세 및 기술 페이지는 영어로만 제공됩니다. EN 표시가 있는 링크는 영어 페이지로 연결됩니다.