光学タスクに合わせてパターンを組み合わせる
同じ基板上の遮光膜と透明領域で、線、窓、目盛、位置マークを構成できます。標準レチクルやターゲットでは必要な組合せが得られない場合に適しています。透光領域、遮光領域、識別専用マークを明確に指定してください。
クロムパターニングガラス
製品選定
製品の概要と機能
精密クロムパターンガラスは透明領域と遮光領域を組み合わせ、図面で定義した光学部品を形成します。基準線、グリッド、窓、カスタム光学パターンをフォトリソグラフィで加工できます。
まず完成部品の機能を定めてください。装置内の基準、露光マスク、複製用マスターは、材料が似ていても、形状、向き、受入記録の要件が異なります。
選択するとき
標準製品ファミリーに合わないパターンにこのルートを使用します。 重要な機能が特定される可能性があるので、そのパターンが機器にどのようなものかを記述します。
プロダクト選択および配達
関連する製品との違い
標準レチクルやターゲット配置に収まらない光学形状を組み合わせる加工です。フォトマスクはパターン転写に用い、機能性パターンガラスは通常、完成機器の中に残ります。
カスタマイズできるもの
透明窓、遮光領域、周期線、識別表示、基準マークを組み合わせます。基板形状、厚さ、成膜面、有効光学領域は、機器設計に応じてそれぞれ選択します。
納入内容
合意した膜パターン形状と基板外形を持つガラス部品に、検査記録を添えて納入します。
仕様・検査
製品構成
| 機能性地域 | 明確な窓、不透明パターンおよび参照の印 |
|---|---|
| パターンダタム | 取付基準に対するパターン形状の座標 |
| 光学モード | 指定波長の伝達か反射 |
点検条件
承認された図面修正に対する合意された重要な寸法、登録およびクリア/不透明欠陥を調べます。
各パターン形状と計測機器の機能を対応付ける
窓が観察領域を定め、その近傍の基準マークでカメラがその領域を位置決めできます。相対位置が基板全体のサイズより重要な場合があります。機能上の関係と取付基準を指定し、個別の形状を一つの部品として検査できるようにします。
フィルムパターニングとガラス加工を区別
クロム膜の透明開口部でも、その下のガラスは残っています。段差、くぼみ、物理的な貫通穴には別の加工工程が必要です。遮光性だけでは反射コントラストは決まらないため、透過使用か反射使用かを指定してください。
部品とその検査を定義
| 管理項目 | 確認事項 |
|---|---|
| 幾何学および位置 |
|
| 基板と光路 | ガラスグレード、厚さ、波長、照明面を指定してください。実際の光学配置で透過と反射を確認します。 |
| 点検および受諾 | 承認された図面修正に対する合意された重要な寸法、登録およびクリア/不透明欠陥を調べます。 |
| 図面とリビジョン | 宣言された単位、明確および不透明の層、観覧の方向、活動的な区域および承認された修正と1:1 DWGを提供して下さい。 |
本製品が使用される場所
いくつかの機能タイプを組み合わせたカスタム機能のアートワーク。
光学機器で必要な観覧参照のためのドローイング定義ガラスレチクル。
よくある質問
複数の機能パターンが1つのコンポーネントを共有できますか?
はい。一つの座標系を用い、パターン間および機械的外形との重要な位置関係を明記してください。
関連製品
この製品の検査
3D光学プロファイラーEN
パターン付きガラスの膜端部の段差、エッチング形状、局所的な高さ変化を確認します。
UV放射照度計EN
ガラスのフォトリソグラフィ加工で、露光条件と現像後のパターンを対応付けます。
この製品の技術ガイド
製造能力
一部の製品詳細・技術記事は英語のみで提供しています。ENと表示されたリンクは英語ページを開きます。